化工行业光刻胶系列报告之一：以史为鉴，看半导体材料皇冠上的明珠

 ▮投资要点

经历近40年的发展后，EUV光刻2019年率先在台积电量产。EUV光刻胶主要有分子玻璃和金属氧化物两个方向，从分子结构来看，分子玻璃光刻胶与OLED材料具备诸多的相似之处，而金属氧化物光刻胶主要为稀土和过渡金属有机化合物，与各类金属有机化合物前驱体材料具备一定的相通性。富士胶片、信越化学、住友化学3家日本龙头公司合计申请了EUV光刻胶80%以上的专利。

以日为鉴，看光刻胶崛起的天时、地利、人和.日本光刻胶行业的崛起，始于KrF光刻胶。IBM虽然早在1980s早期就实现了对KrF胶的突破，但整个80年代半导体工艺都集中在微米级工艺，i线光刻完全可以胜任，IBM的KrF胶成了“早产儿”。1995年东京应化商业化KrF胶时，恰逢0.25-0.35-μm工艺节点，逼近i线光刻的极限，且尼康成功击败美国三巨头登顶光刻机行业。天时地利下日本光刻胶行业迅速崛起。然而……