半导体设备行业国产化专题二：从H公司28-14nm逻辑电路设备采购数据，看国产工艺设备在先进制程的机遇与潜力

 ▮投资要点

选择 H 公司 28-14nm 逻辑电路晶圆产线作为研究对象，在先进制程的设备采购中具备一定的代表性。根据中国国际招标网数据统计，相比 90-55nm晶圆制造产线，28-14nm 产线上各类工艺设备的采购量翻倍，但国产化率更低。我们预计，中微、盛美、北方华创、华海清科更有机会在后续扩产中受益，而沈阳拓荆、沈阳芯源、中科信等工艺设备也有希望获得重复订单。

相比 90-55nm 制程，12 英寸 28-14nm 制程投资翻番，设备采购量翻倍。

DRAMeXchange 显示，该项目总投资 380 多亿元，计划产能 4 万片/月，工艺等级为 28-14nm 的 12 英寸逻辑电路芯片生产线。

该项目首个 1 万片/月产能已于 2016 年开工，2018 年 10 月投片，工期建设 22 个月，至今已累计采购各类工艺设备 400 多台。预计今后年均建产1 万片/月，年均投资 70 亿元（约 10 亿美元）。

可见，在相同产能的条件下，28-14nm 制程项目的设备采购量和投资金额均相当于 90-55nm 特色工艺产线的两倍左右。

总体国产设备中标的数量占比 8%，剔除量测口径下国产化率 13%，远低于 90-55nm 制程生产线工艺设备国产化比例。